高级别电子超纯水整体解决方案
公司紧(jin)跟(gen)ITRS发展(zhan)蓝(lan)图,致(zhi)力于研究更(geng)成熟先进(jin)的工艺(yi)方案,服务(wu)于海(hai)力士(shi)、长江存储(chu)、上海(hai)华力、无锡华虹、上海(hai)积塔、嘉兴中晶、京东方、华(hua)星光电(dian)、中电(dian)熊猫(mao)、惠(hui)科光电等优质客户(hu),提供更(geng)可靠的(de)集成电路/高世代面板超纯水整体(ti)设(she)计(ji)(包括制程水回用)方案(an),以及采(cai)购(gou)、安装、调(diao)试(shi)、运维的(de)一(yi)体(ti)化服务。
l UPW-HiDB超纯(chun)水深度除硼工艺方案(an)
SA+DP+PMB工艺包,离子交换效率高,出水硼可稳定<0.01ppb。
l UPW-HiDC超纯水深(shen)度(du)除(chu)TOC工艺(yi)方案(an)
Dual UVox+PMB工艺包,方案成熟可靠,出水TOC可稳定<0.5ppb。