洁净室温湿度精确控制技术
通(tong)过串级(ji)PID控制的(de)(de)方式,将两个控制回(hui)路(lu)嵌套(tao)组(zu)合起来,外环(huan)回(hui)路(lu)的(de)(de)输出直接(jie)作(zuo)为内环(huan)回(hui)路(lu)的(de)(de)给定(ding)值,内环(huan)回(hui)路(lu)的(de)(de)输出值直接(jie)作(zuo)用在相(xiang)应(ying)的(de)(de)电动(dong)调节阀(fa)上,从而(er)来实现整个系统的(de)(de)温湿度控制。
目前(qian)最高(gao)实现精度为温(wen)度控制(zhi)±0.3℃,湿度控制(zhi)±3%。